Theo Bảo tàng tỉnh Bà Rịa - Vũng Tàu, quần thể chùa Thích Ca Phật Đài được xây dựng vào tháng 7/1961, hoàn thành tháng 3/1963 trên diện tích gần 3 ha, theo phát kiến của ngài Đại đức Narađa - Mahathera người Tích Lan (SriLanka).
Tháng 12/1989, Thích Ca Phật Đài được xếp hạng di tích cấp Quốc gia.